軸流分子泵的特點(diǎn)及應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間：2017年07月27日 10:45 閱讀：5066
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澤德
軸流分子泵是在分子流范圍工作的渦輪式真空泵，對于與高速運(yùn)動(dòng)的固體表面相碰撞的氣體分子，給予動(dòng)量，使其由低壓區(qū)向高壓區(qū)產(chǎn)生分子流。具有動(dòng)葉與靜葉，入射到動(dòng)葉上的氣體分子，碰到葉表面后進(jìn)行反射，通過靜葉，進(jìn)入下一級(jí)的動(dòng)葉。從而葉的圓周速度對于抽氣性能非常重要，要求達(dá)到氣體分子的最大概率速度的1/2左右。通常抽氣速率幾乎不因氣體種類而變動(dòng)，但卻具有氣體的分子量越大其壓縮比越大的特點(diǎn)。
軸流分子泵用油封式機(jī)械真空泵或機(jī)械增壓泵等前級(jí)真空泵，把反壓力降到分子流范圍后使用，它和機(jī)械增壓泵一樣，沒有油蒸汽的反流，可以獲得所謂的清潔真空。
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