低溫泵的類(lèi)型及主要性能
發(fā)布時(shí)間：2016年03月16日 09:06 閱讀：5015
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澤德
低溫泵是根據(jù)氣體凝聚、低溫吸附、低溫捕集或吸氣而獲得真空的原理制成的。
1.根據(jù)泵的工作壓力，可分為用于連續(xù)流范圍的低溫泵，用于分子流范圍的低溫泵，通常為冷凝泵再加上一吸附級(jí)或一低溫捕集級(jí)。
2.根據(jù)冷卻方式，可分為儲(chǔ)槽式低溫泵、蒸發(fā)式低溫泵和制冷式低溫泵等類(lèi)型。其中，儲(chǔ)槽式低溫泵和蒸發(fā)式低溫泵均使用液態(tài)制冷劑進(jìn)行制冷，冷卻屏蔽面常用液體氮，而低溫面常用液氦或氣氦進(jìn)行制冷。由于液氫的易燃、易爆性，加上價(jià)格較高，盡管它的蒸發(fā)焓比液氦高，仍然很少使用。
制冷式低溫泵的制冷機(jī)常用吉福德．麥克馬洪型(簡(jiǎn)稱G．M制冷機(jī))和斯特林型(簡(jiǎn)稱St制冷機(jī))。對(duì)于大抽速的制冷式低溫泵，可以采用液氦溫度級(jí)的制冷機(jī)，并設(shè)置J-T閥，組成液體循環(huán)制冷裝置，有時(shí)還利用液體儲(chǔ)槽或氮液化機(jī)中的液氮來(lái)冷卻擋板和屏蔽面。
低溫泵的主要性能
?、俦瘸樗俑?，勝過(guò)其他所有類(lèi)型的泵。
?、谕庑螞](méi)有限制，既可浸入真空室內(nèi)，也可用法蘭盤(pán)固定在真空室外壁上。
?、劭梢蕴峁┩耆鍧嵉恼婵?，對(duì)真空系統(tǒng)沒(méi)有污染。
?、芸梢垣@得極低壓強(qiáng)的真空度，如10-12Pa以下。而且，低溫泵的運(yùn)行可靠，且抽速比較大時(shí)，其投資的運(yùn)行費(fèi)用都比傳統(tǒng)的真空泵低，易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
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