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干式真空泵的應(yīng)用及分類(lèi)

發(fā)布時(shí)間:2015年12月14日 09:29   閱讀:5664   返回   來(lái)源:澤德
  在近年來(lái),由高真空油擴(kuò)散泵和作為前級(jí)泵的油封式機(jī)械泵組成的排氣系統(tǒng),在各工業(yè)部門(mén)廣泛得到應(yīng)用。在這樣的真空系統(tǒng)中不可避免地要發(fā)生油蒸氣的返流、使真空容器遭到污染,而且在真空容器中進(jìn)行作業(yè)所用的工藝氣體會(huì)在油中溶解,工藝過(guò)程反應(yīng)生成的顆粒狀副產(chǎn)物也會(huì)在油中積聚,使油本身變質(zhì)劣化。
  近年來(lái),半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出的要求,作為高真空泵不能有油蒸氣存在,因此無(wú)油的渦輪分子泵、復(fù)合分子泵在該領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。但是,前級(jí)泵還沒(méi)有真正解決真空系統(tǒng)無(wú)油污染的技術(shù)難題。1984年以前研制過(guò)一些實(shí)驗(yàn)室和專(zhuān)門(mén)用途的干式泵。但價(jià)格昂貴、運(yùn)行間隙過(guò)小,很難在商業(yè)上推廣應(yīng)用。之后,相繼出現(xiàn)了多種型式的干式泵,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。
  干式真空泵也稱為無(wú)油真空泵。在泵的抽氣流道中,不能使用任何油類(lèi)和液體。排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣。能產(chǎn)生10-2Pa壓力范圍的真空。
  干式真空泵的分類(lèi)
             
  現(xiàn)在市場(chǎng)上提供的干式真空泵種類(lèi)很多??煞譃閮深?lèi):容積式和動(dòng)量傳輸式。容積式無(wú)油真空泵,如多級(jí)羅茨泵、爪型泵、往復(fù)式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1~10Pa,抽速為0.01~0.04m3/s。動(dòng)量傳輸式的無(wú)油真空泵,如渦輪式無(wú)油泵。排氣側(cè)與大氣相接,在連續(xù)流狀態(tài)下壓縮比較高。它是一種粗抽泵,可從標(biāo)準(zhǔn)大氣壓抽到10-2Pa。在結(jié)構(gòu)上采用徑向和周向流泵的復(fù)合式結(jié)構(gòu),多級(jí)串聯(lián)取氣。這種泵的極限壓力約為10-2Pa,抽速為0.02~0.15m3/s。

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